高純度薬液の調合・充填技術
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高純度薬液の調合・充填技術

高純度薬液の調合・充填技術 承認済み

毒劇物の不純物低減及びハンドリング

レビュー

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説明

どのような技術・製品か?

半導体業界における最新のデザインルールはXnmと超微細領域に入ってきており、そこで使用される薬液についても厳格な高純度状態を管理する事が求められています。

弘田化学では、必要となる薬液組成以外の不純物(陰イオン・陽イオン・パーティクル)をpptレベルまで排除することが可能で、また、不純物を排除した状態での薬液の調合、及び、充填の技術と、それを分析保証できる技術を有しています。

何を実現するのか?

目的とする薬液組成以外の不純物を極限迄排除した状態での洗浄液や機能性薬液を実現することができます。

この技術により、半導体業界だけでなく、精密機器業界やヘルスケア業界などの不純物の混在が好ましくない洗浄液や機能性薬液の製造にも応用することができます。

強み、競合優位性は何か?

半導体業界における高純度無機薬液の調合技術を有する企業は、現在では国内数社に限られています。この中で、弘田化学工業では、少量多品種での開発・生産対応を行う事ができる体制を構築しています。半導体業界で得た薬液に対する幅広い知見を他業界への開発案件に応用することで、、従来の薬液メーカーでは対応出来なかった製品の実現が可能になります。

 

どんな実績・事実・データがあるか?

次のような最先端技術製品への応用実績があります。

  • 半導体グレード特殊混酸(各種メタルエッチャント)
  • iPhone液晶パネル製造用の歩留向上(帯電防止)剤
  • 肺の中空糸洗浄薬液
  • 超高精度アクチュエーター洗浄剤

どのような製品・部品を取り扱っているか?
様々な濃度の毒劇物無機薬液(弗酸、塩酸、硝酸、硫酸、過水)およびその混合物

各種添加剤を追加した機能性薬液

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